瑞士GOTEC真空泵EKF17-60工作原理

 瑞士GOTEC真空泵EKF17-60工作原理

瑞士Gotec真空泵EKF17-60是一款高性能的真空泵，廣泛應用于工業和科研領域。其工作原理基于旋片式真空泵的機制，通過機械運動實現高效的氣體抽吸和真空環境的建立

一、工作原理
（一）旋片運動與泵腔容積變化
EKF17-60真空泵的核心部件是一個偏心安裝的轉子和若干彈性旋片。轉子在電機的驅動下高速旋轉，旋片在離心力和彈簧力的共同作用下，始終與泵腔內壁保持緊密接觸。這種設計將泵腔分割成多個獨立的抽氣單元，其容積隨著轉子的旋轉而周期性變化。
吸氣階段：當轉子旋轉時，旋片向外移動，泵腔容積增大，形成負壓，氣體通過進氣口被吸入泵腔。
壓縮階段：隨著轉子繼續旋轉，旋片向內移動，泵腔容積減小，氣體被壓縮，壓力升高。
排氣階段：當氣體被壓縮到一定程度后，通過排氣口排出泵外。
（二）無油設計與清潔真空
EKF17-60采用無油設計，避免了傳統油封真空泵中潤滑油對真空環境的污染。這種設計特別適用于對真空清潔度要求較高的應用，如半導體制造、電子管生產等領域。
（三）高效能與低噪音運行
該真空泵通過優化的機械結構和電機驅動系統，實現了高效率的氣體抽吸和低噪音運行。其運行過程平穩，振動小，適合長時間連續工作。
二、技術特點
（一）高真空度與大抽速
EKF17-60能夠在較寬的壓力范圍內提供較大的抽速，極限真空度可達1×10?3Pa。這使其能夠快速建立真空環境，滿足多種工業和科研需求。
（二）低噪音與緊湊設計
該真空泵運行時噪音極低，結構緊湊，體積小，便于安裝和集成到各種設備中。
（三）耐用性強
采用高品質材料和精密制造工藝，EKF17-60具有較長的使用壽命和較高的可靠性。
三、應用領域
EKF17-60真空泵適用于多種需要高真空環境的場合，包括但不限于：
半導體制造：用于光刻、蝕刻等工藝。
電子管生產：提供清潔的真空環境。
科研實驗：用于物理、化學實驗中的真空需求。
工業生產：如真空干燥、真空蒸餾等。

瑞士GOTEC真空泵EKF17-60工作原理