德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 促動器 線性促動器 P-753

P-753 LISA線性促動器和平臺

應用領域：

掃描顯微鏡

測量技術

測試程序和質量保證

光子

光纖定位

產品參數：

型號：P-753.1CD

主動軸：X

集成傳感器：電容式

行程，閉環：15微米

分辨率，閉環：0.1納米

線性誤差，閉環：0.03%

重復精度：±1納米

螺距/偏轉角：±5微弧度

運動方向上的剛性：45牛/微米

諧振頻率，空載：5.6千赫茲

帶200 克負載時的諧振頻率：2.5千赫茲

運動方向上的推/拉力：100 / 20牛

型號：P-753.2CD

主動軸：X

集成傳感器：電容式

行程，閉環：30微米

分辨率，閉環：0.2納米

線性誤差，閉環：0.03%

重復精度：±2納米

螺距/偏轉角：±7微弧度

運動方向上的剛性：24牛/微米

諧振頻率，空載：3.7千赫茲

帶200 克負載時的諧振頻率：1.7千赫茲

運動方向上的推/拉力：100 / 20牛

型號：P-753.3CD

主動軸：X

集成傳感器：電容式

行程，閉環：38微米

分辨率，閉環：0.25納米

線性誤差，閉環：0.03%

重復精度：±3納米

螺距/偏轉角：±10微弧度

運動方向上的剛性：16牛/微米

諧振頻率，空載：2.9千赫茲

帶200 克負載時的諧振頻率：1.4千赫茲

運動方向上的推/拉力：100 / 20牛

德國PI Physik Instrumente 光學實驗位移臺 促動器 線性促動器 P-753